第638章 十万亿元（2/2）

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山体花岗岩结构，三面环山一面临海。

山脚下有个天然溶洞群，最大的主洞纵深超过两公里。

“地皮半年前就买下来了，第一批施工队进场的时候还是打着矿业开发的旗号。

后来汇报给国家，苏局长当天就批了特级施工令——十万人次的工程兵和基建队伍，三班倒，二十四小时不停。”

秦风翻到工程进度页面。

“截至目前，雷山基地主体工程完成百分之七十八。”

他把一张三维结构图投到全息屏幕上。

陈阳站起身，走到屏幕前。

这不是一个基地。

这是一座塞进山体里的城市。

主体空间全长二十公里，最大高度超过四百米——一百二十层楼。

最大宽度三千米。

总体积大约六千万立方米。

波音747可以在里面飞。

“上层是芯片量产区，百级超洁净厂房。

中层是配套工业区，包括封测车间、材料制备中心、碳管生长工厂。

下层——”

秦风停了一下。

“下层是核心区。

防核加固标准，覆岩厚度三百米以上。

里面规划了航天飞机总装车间、备用超算中心、以及战略物资储备库。”

陈阳的手指在屏幕上划过基地的最底层。

“海底通道呢？”

“国家调了两台大型盾构机，从海山基地方向对向掘进。

设计全长四十七公里，直径十二米，双向四车道。预计一年内贯通。”

秦风合上电脑，看着陈阳。

“通了之后，海山基地和雷山基地之间，物资和人员二十分钟直达。

两个基地互为备份，任何一个被摧毁，另一个都能独立运转。”

陈阳没说话，走回桌前坐下。

“设备。”

秦风早有准备，直接翻到采购清单。

“ArF浸没式DUV光刻机，上海微电子SSA800-10型，首批采购四十台。

四重曝光配置，套刻精度正负1.7纳米以内。

上海微电子为了这笔订单，把今年全年产能的一半都给了我们。”

“ALD原子层沉积系统，拓荆科技，二十五台。

单原子层精度0.1纳米，用于高k栅介质沉积。拓荆的董事长亲自飞到明州来签的合同。”

“刻蚀设备，中微公司和北方华创各供三十台。

ICP、RIE、ALE三种刻蚀机全覆盖，碳管沟道无损伤刻蚀选择比超过五十比一。”

“清洗设备，盛美上海，十五台。兆声波清洗，颗粒去除率99.99%以上。”

“涂胶显影，芯源微，二十台。磁控溅射、退火炉、PECVD——北方华创全家桶，六十台打包。”

秦风翻过一页。

“碳基专用设备——这部分是核心中的核心。”

“晶圆级碳管定向阵列CVD生长系统，北大重庆碳基院联合北方华创定制开发，第一批八台已经下线。

八英寸晶圆原位生长高密度平行碳管阵列，密度超过每微米一百五十根。”

“超高纯碳管宏量提纯系统，苏州冷石纳米，六台。

六个九纯度的半导体型碳管，公斤级产能。天奈科技做备份供应。”

“碳管涂布与无损转移设备，苏州麟能定制，四台。

溶液法晶圆级均匀涂布，转移无损率99.9%。”

“碳管专用在线检测——拉曼光谱仪、原子力显微镜、晶圆级缺陷扫描，全套二十台。”

秦风合上清单，报了个数。

“前道设备总计两百三十七台套，碳基专用设备十八台套，中后道封测设备一百二十台套。

全部国产，零进口依赖。设备总采购金额——四百一十亿。”